Streifenmuster für die Bestimmung der lateralen Auflösung und die Kalibrierung der Längenskala im Nanometerbereich

Erscheinungsdatum 16.02.2017

BAM-L200 Bericht

Streifenmuster für die Bestimmung der lateralen Auflösung und die Kalibrierung der Längenskala im Nanometerbereich