10 Bestimmung der Schichtdicke von Siliziumoxid-Filmen auf Silizium mit Elektronenspektroskopie (XPS/ESCA)

Erscheinungsdatum 13.04.2021
10 Bestimmung der Schichtdicke von Siliziumoxid-Filmen auf Silizium mit Elektronenspektroskopie (XPS/ESCA)