11 Spektroskopische Ellipsometrie (SE) zur spektralen Bestim-mung von optischen und dielektrischen Materialkenngrößen sowie von Schichtdicken

Erscheinungsdatum 13.04.2021
11 Spektroskopische Ellipsometrie (SE) zur spektralen Bestim-mung von optischen und dielektrischen Materialkenngrößen sowie von Schichtdicken