Elektronenspektroskopie für die chemische Oberflächenanalytik (ESCA / XPS): Bestimmung von SiO2-Schichtdicken auf Silicium

Referenzverfahren

Elektronenspektroskopie für die chemische Oberflächenanalytik (ESCA / XPS): Bestimmung von SiO2-Schichtdicken auf Silicium